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本发明提供银合金靶材、薄膜及其制备方法，该银合金靶材构成为AgxInyMzQn,其中铟的比例为8％≤y≤40％(原子比)，M为锡、金、铂、钯、铌、铑、钌中的至少一种元素，0≤z≤8％(原子比)，Q为稀土元素中的至少一种元素，0≤n≤3％(原...
该专利属于吉晟光电(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉晟光电(深圳)有限公司授权不得商用。

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