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本发明公开了一种复合衬底，包括生长衬底和薄膜结构层，薄膜结构层生长在生长衬底上；薄膜结构层包括保护层、顶电极、压电薄膜、底电极和支撑层，顶电极溅射在保护层上，压电薄膜生长在顶电极上，底电极溅射在压电薄膜上，支撑层沉积在底电极表面。本发明还提...
该专利属于河源市众拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市众拓光电科技有限公司授权不得商用。

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