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本实用新型提供的一种链式扩散设备，包括依次连接的上料装置、喷涂装置、烘干装置和下料装置，所述的烘干装置与下料装置之间还连接有激光装置；还包括网带传输装置，硅片放置于网带传输装置上并由网带传输装置带动从喷涂装置处经过烘干装置内腔并传送至激光装...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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