下载一种集成放大器件的霍尔器件及其制备方法的技术资料

文档序号:20276117

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本发明公开了一种集成放大器件的霍尔器件及其制备方法,其中所述方法包括:在衬底上形成第一半导体层,所述第一半导体层适于用作霍尔功能层;在所述第一半导体层上外延生长第二半导体层,所述第二半导体层与所述第一半导体层之间形成二维电子气;去除部分第二...
该专利属于苏州矩阵光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州矩阵光电有限公司授权不得商用。

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