下载薄膜晶体管及制备方法、阵列基板、显示面板和显示装置的技术资料

文档序号:20275976

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本发明公开了一种薄膜晶体管及制备方法、阵列基板、显示面板和显示装置,涉及显示技术领域,为解决顶栅结构的薄膜晶体管存在的短沟道效应的问题而发明。该薄膜晶体管,包括衬底基板、覆盖于衬底基板上的有源层、覆盖于有源层上的栅绝缘层以及覆盖于栅绝缘层上...
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