下载高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:20270200

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本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率...
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