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一种单晶炉上下炉室安全隔离装置，包括上炉室、下炉室、位于上炉室与下炉室之间且将二者位置隔离的安全隔离阀，安全隔离阀包括操作手柄、转轴、销钉和阀板，销钉包括头部、通过定位销连接在头部上的销钉外壳、水平贯穿销钉外壳内腔且与头部螺纹连接的尾部，销...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。

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