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热丝夹具和热丝沉积设备制造技术
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文档序号:20265940
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本实用新型提供了一种热丝夹具和热丝沉积设备,涉及热丝气相沉积技术领域,该热丝夹具,包括:夹具支架,包括依次平行间隔设置的第一热丝固定杆、第一热丝承载棒、第二热丝承载棒和第二热丝固定杆,第一热丝固定杆可沿第一热丝承载棒的垂线方向移动,和,多根...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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