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本发明公开了一种能够使得混合气体均匀分布在硅片周围的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置。该用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置，包括均化主壳体、均化区域调节体以及分流装置；所述均化主壳体的内腔上部为倒锥形腔体，下部为矩形腔...
该专利属于乐山新天源太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山新天源太阳能科技有限公司授权不得商用。

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