下载分布电极式三维电场传感器的技术资料

文档序号:20245090

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本实用新型提供了一种分布电极式三维电场传感器,包括:封装结构、电场敏感单元和多个分布式电极;电场敏感单元封装在封装结构内;多个分布式电极在封装结构的多个面上均匀分布;多个分布式电极分别与封装结构通过绝缘柱相连,多个分布式电极分别与电场敏感单...
该专利属于中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司授权不得商用。

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