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本实用新型公开了一种单片集成三轴加速度传感器，其中，采用微电子机械加工技术方法，利用4个双L型梁、两个质量块、中间双梁作为弹性元件，所述两个质量块将感受的加速度信息(ax、ay、az)转换为弹性元件形变，引起所述由弹性元件根部12个压敏电阻...
该专利属于黑龙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过黑龙江大学授权不得商用。

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