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本发明提供一种晶圆平整固定设备，和植球装置相连接，用于对翘曲晶圆进行平整固定，其特征在于，包括：平整固定装置，用于对翘曲晶圆进行平整固定，包含承载台、吸附固定部以及压边固定部；以及固定控制装置，用于控制平整固定，其中，承载台能够在平整固定装...该专利属于上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微松工业自动化有限公司;江苏弘琪工业自动化有限公司授权不得商用。