下载一种雪崩整流二极管的制作工艺的技术资料

文档序号:20244884

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本发明提供一种雪崩整流二极管的制作工艺,采用电解法去除硅片扩散后在其表面形成的磷硅、硼硅玻璃,电解液采用ZnSO4溶液,直流源阳极连接一根钼棒,直流源阴极连接一根铜棒,芯片P面朝上放置于电解液中,P面接触钼棒底部;电解反应结束后,将芯片取出...
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