温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种微加工连线方法，包括步骤：在振元电极表面旋涂光刻胶，形成绝缘隔离层；通过曝光机，采用四面反射镜，对所述振元电极进行掩膜曝光处理，并在曝光后进行显影处理，在所述绝缘隔离层上开出连接窗口；在所述绝缘隔离层上溅射导电层，并进行掩膜...
该专利属于广州联声电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州联声电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。