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本发明公开了对图案化结构的基于X射线的测量。呈现一种用于图案化结构上的基于X射线的测量的方法和系统。该方法包括：处理指示对应于图案化结构对入射X射线辐射的检测辐射响应的测量信号的数据，并且从所述数据中减去基本上无背景噪声的有效测量信号，所述...
该专利属于诺威量测设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺威量测设备股份有限公司授权不得商用。

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