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光学量测系统、光学量测装置及其量测方法制造方法及图纸
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文档序号:20239540
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本发明提供一种放大位移倍率的光学量测系统、光学量测装置及其量测方法。光学量测装置包含架座、移动抵靠件、多个静态光学感测件及动态光学感测件,架座包含定位槽。移动抵靠件枢接于架座上且对应定位槽,待测物夹抵于移动抵靠件与定位槽之间。静态光学感测件...
该专利属于镱钛科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镱钛科技股份有限公司授权不得商用。
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