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半导体单晶炉制造技术
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文档序号:20238466
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本实用新型公开了一种半导体单晶炉,它包括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置,它还包括可升降磁场装置、副炉室升降驱动装置、副炉室旋转驱动装置和电动接晶托,可升降磁场装置包括磁场产生源和磁场升降驱动装置,磁场升降驱动装置连接在底座上,...
该专利属于蒋国庆所有,仅供学习研究参考,未经过蒋国庆授权不得商用。
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