下载一种石墨加热器及硅晶体生长炉的技术资料

文档序号:20236055

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本发明公开了一种石墨加热器及硅晶体生长炉,所述石墨加热器用于硅晶体生长炉中,所述石墨加热器包括非闭合的环状的加热体,其两端分别形成所述加热体的第一端和第二端,所述加热体上设有至少两个电极脚;所述石墨加热器通过所述电极脚与电源连接,以使所述石...
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