下载一种分子束外延不同类型束源炉参数换算的方法的技术资料

文档序号:20236053

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本发明涉及一种分子束外延不同类型束源炉参数换算的方法,根据不同类型束源炉在两个温度点生长的材料生长速率或多元材料组分,获得束源炉对应生长速率或组分随温度的变化关系,实现对不同类型束源炉温度参数的换算。本发明的方法可以在不使用束流规的情况下,...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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