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微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备制造技术
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文档序号:20235928
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本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备,该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107,其中,微波谐振腔体内设有等间隔...
该专利属于吴绍飞所有,仅供学习研究参考,未经过吴绍飞授权不得商用。
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