下载一种氮硅双修饰石墨烯量子点固态膜的制备方法的技术资料

文档序号:20235922

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本发明公开了一种氮硅双修饰石墨烯量子点固态膜的制备方法。该方法以射频等离子体增强化学气相沉积技术作为石墨烯量子点固态膜生长方法,以高纯乙烯作为石墨烯量子点生长的碳源气体,以硅烷混合气和高纯氮气分别为石墨烯量子点的生长提供硅元素修饰和氮元素修...
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