下载一种梯度高硅钢的制备工艺的技术资料

文档序号:20235901

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本发明公开了一种梯度高硅钢的制备工艺,将锰、铌、钒等微量合金元素、纯度金属硅和纯铁按比例放入高频真空感应加热炉中,抽真空浇铸成FeSi合金锭,然后加工成阴极靶材,备用;将上述阴极靶材放置于镀膜室,氩气作为溅射气体进行阴极离子镀;使表层硅含量...
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