下载一种TiCN基耐高温太阳能选择性吸收涂层的技术资料

文档序号:20235887

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本发明涉及一种TiCN基耐高温太阳能选择性吸收涂层,所述的涂层从底层到表面依次包括基体、吸收层和减反层,涂层的制备采用中频磁控溅射技术,吸收层为具有耐高温性能的TiCN涂层,减反层为耐腐蚀高硬度并且对基体和吸收层具有保护作用的AlON层;T...
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