下载一种基板承载装置的技术资料

文档序号:20232817

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本发明公开了一种基板承载装置,包括承载台,基板承载装置还包括多个定位机构,设置于承载台的周边,定位机构包含第一定位组件与第二定位组件,第一定位组件与第二定位组件滑动连接,且第一定位组件可沿第一方向伸长或收缩第一长度,第二定位组件可沿第一方向...
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