下载一种工作环工位自动切换单面研磨机的技术资料

文档序号:20230002

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种工作环工位自动切换单面研磨机,包括工作台、以及设置在所述工作台上的工作环组件,所述工作环组件包括旋转盘、设置在所述旋转盘上的若干工作环、以及与用于定位工作环的外导轮;所述旋转盘安装在工作台的中间位置,在旋转盘下方的工作台内安...
该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。