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射频输入耦合器制造技术
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文档序号:20225069
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本发明提供了一种射频输入耦合器,包括耦合器本体和陶瓷窗,所述耦合器本体和所述陶瓷窗之间采用分离式结构;所述耦合器本体包括内导体和外导体,所述内导体的侧壁内部设有蛇形流道,所述外导体的内部设有蛇形流道,所述外导体上设有冷却介质进口和冷却介质出...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。
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