下载一种光电子注入型X射线探测器件及其制备方法的技术资料

文档序号:20223651

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本发明公开了一种光电子注入型X射线探测器件,包括衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道半导体层、源电极、漏电极、源电极隔离层、漏电极隔离层、X射线光电导层、上电极及保护层,所述上电极与X射线光电导层的接触为欧姆接触或肖特基接触。本发明还公开了该光电子...
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