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一种功率器件保护芯片及其制作方法技术
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文档序号:20223620
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本发明提供一种功率器件保护芯片及其制作方法,包括:提供第一导电类型的衬底;在所述衬底上表面生长第一导电类型的第一外延层;在所述第一外延层上表面形成第二导电类型的第二外延层;在所述第二外延层上表面形成第一导电类型的第三外延层;形成贯穿所述第三...
该专利属于深圳市福来过科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市福来过科技有限公司授权不得商用。
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