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一种三维图像传感器及其制备方法技术
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下载一种三维图像传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:20223567
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本发明属于半导体技术领域,具体为一种三维图像传感器及其制备方法。本发明的图像传感器包括:CMOS反相信号处理器芯片,其具有第一SOI晶圆;形成在第一SOI晶圆上CMOS反相信号处理器;第一金属互连布线层和第一钝化层;形成在第一金属互连线上、...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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