下载一种晶圆级封装红外探测器及其制作方法的技术资料

文档序号:20223562

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本发明涉及一种晶圆级封装红外探测器及其制作方法。该方法包括:在盖子晶圆的PAD区域形成导电层,并在导电层的一端面焊接PAD焊点;在盖子晶圆的键合区域形成键合层;对除键合区域和PAD区域外且与键合区域位于同一表面的盖子晶圆进行减薄处理;在盖子...
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