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具伸张应力鳍状结构的制作方法与互补式鳍状晶体管结构技术
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文档序号:20223543
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本发明公开一种具有伸张应力的鳍状结构的制作方法与互补式鳍状晶体管结构,其具有伸张应力的鳍状结构的制作方法,包含提供一基底包含一N型晶体管区和一P型晶体管区,接着形成二第一沟槽和二第二沟槽于基底中,第一沟槽出定义一鳍状结构,第二沟槽截断第一沟...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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