下载一种电力电子器件芯片生产用辅助装置的技术资料

文档序号:20223495

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本发明涉及芯片生产设备附属装置的技术领域,特别是涉及一种电力电子器件芯片生产用辅助装置,其可以放置多种尺寸的晶圆片,同时能够便捷的对晶圆片的角度进行微调;并且能够精确的定位切割机的切割角度,保证晶圆片的切割精度;包括操作台、固定架、切割机和...
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