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本发明公开了一种级联式多类型非线性效应抑制型倾斜光栅的制作方法，首先根据数学模型计算出各段倾斜光栅的参数，其次利用紫外光刻系统刻写级联式非线性效应抑制型倾斜光栅，接着将刻写好的级联式非线性效应抑制型倾斜光栅进行高温退火，最后将级联型倾斜光栅...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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