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本发明公开了一种电容式微机械器件及其操作方法，包括固定于锚点的机械结构，通过可动电极弹簧固定于可动电极锚点的第一可动电极、第二可动电极，和固定的用于改变第一可动电极、第二可动电极状态的可动电极驱动电极。其中，可动电极弹簧的初始状态中，直量与...
该专利属于杨荣彬所有，仅供学习研究参考，未经过杨荣彬授权不得商用。

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