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本发明提供一种热交换装置及其热交换方法与气相沉积设备，所述热交换装置包括热交换器、冷却水路、循环水路、切换器，所述冷却水路在所述热交换器对所述循环水路进行热交换，所述循环水路对所述待冷却目标物进行温控，所述切换器用于断开所述循环水路与所述待...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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