下载电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法的技术资料

文档序号:20215022

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本发明涉及一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法,属于硅材料提纯技术领域。其包括支撑件、坩埚基座、底座和固定件,支撑件包括支撑件主体和支撑件支腿,支撑件支腿上设有吊孔;坩埚基座包括旋转臂和坩埚基座主体,坩埚基座主体设有放置坩埚的空间,旋转...
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