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本申请公开了MEMS结构、MEMS组件。包括：模板层，所述模板层包括用于限定空腔的第一凹槽；位于所述模板层上的停止层；位于所述空腔上的掩模层；位于所述掩模层上的封闭层，所述封闭层封闭所述多个释放孔，其中，所述模板层还包括围绕所述第一凹槽的多...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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