下载一种三氟化硼气体净化装置的技术资料

文档序号:20188331

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本实用新型公开了一种三氟化硼气体净化装置,包括酸洗罐、沉淀罐、旋风分离器、膜过滤器和残液罐,酸洗罐、沉淀罐、旋风分离器和膜过滤器上顶端均分别设置有进气口和出气口,底端均分别设置有残液出口,酸洗罐进气口处连接有三氟化硼进气管道,酸洗罐、沉淀罐...
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