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本发明提供一种柔性基底薄膜体声波谐振器及其形成方法，有助于提高器件的Q值，改善器件性能。其中，柔性基底薄膜体声波谐振器的形成方法，包括：提供牺牲层；在牺牲层之上形成谐振结构；在谐振结构之上形成顶部声反射结构；去除牺牲层，从而得到堆叠结构，然...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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