温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于微机电(MEMS)领域，涉及一种梳齿驱动器,具体涉及一种具有自洁功能的梳齿驱动器。包括驱动梳齿，还包括设置在硅衬底上的吸附电极，吸附电极包括至少一对电极对，其中一个电极接地，另一个电极接正电平或负电平信号；吸附电极与驱动梳齿之间通...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。