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硅-碳复合粉末制造技术
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文档序号:20180181
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本发明涉及硅‑碳复合粉末。具体地,在该硅‑碳复合粉末中,a)Si和C分布在整个颗粒中,和b)颗粒表面上的重量比(C/Si)表面大于整个颗粒内的重量比(C/Si)总计。其如下制备:将SiH4、Si2H6、Si3H8和/或有机硅烷的气体料流和至...
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