下载薄膜电池的制备方法及薄膜电池的技术资料

文档序号:20179990

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公开了一种薄膜电池的制备方法及薄膜电池,方法包括干式蚀刻硅晶片形成多个微电池图案阵列,局部化硼掺杂和磷掺杂所述微电池图案阵列,转移层无间隙接触所述微电池阵列以从硅晶片分离所述微电池阵列,转移层将微电池阵列转移到聚酰胺层,然后剥离所述转移层,...
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