下载一种高厄利电压的双极器件及其制作方法的技术资料

文档序号:20179945

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本发明公开了一种高厄利电压的双极器件及其制作方法,所述双极器件包括3个金属连线和衬底;衬底上方依次设置N埋层、第一外延层、第二外延层和SiO2层;3个金属连线分别穿过SiO2层上设置的引出孔后,分别连接集电区的引出区、发射区和P型基区;集电...
该专利属于西安微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安微电子技术研究所授权不得商用。

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