下载MRAM阵列与其的制作方法的技术资料

文档序号:20179911

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本申请提供了一种MRAM阵列与其的制作方法。该制作方法包括:步骤S1,在衬底的表面上设置包括MTJ单元的预存储结构,MTJ单元的远离衬底的表面为第一表面;步骤S2,在MTJ单元上设置介质单元,介质单元包括低K介电层与抛光阻挡层,低K介电层的...
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