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本发明涉及一种前照式图像传感器及其形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底形成有对应于像素单元的光电二极管区域;于所述半导体衬底上形成多层金属互连层;至少一层金属互连层的形成方法包括:于所述光电二极管区域上方形成光密介质区域;于光密介...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种前照式图像传感器及其形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底形成有对应于像素单元的光电二极管区域;于所述半导体衬底上形成多层金属互连层;至少一层金属互连层的形成方法包括:于所述光电二极管区域上方形成光密介质区域;于光密介...