下载实时监控的六氟化硫气体膜分离系统的技术资料

文档序号:20179048

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本实用新型公开了一种实时监控的六氟化硫气体膜分离系统,包括气泵,气泵的出口连接有薄膜分离器,薄膜分离器与气泵之间设有气压调节电动阀;薄膜分离器具有氮气出口和六氟化硫气体出口;薄膜分离器的六氟化硫气体出口连接有流量调节电动阀,流量调节电动阀通...
该专利属于河南省日立信股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南省日立信股份有限公司授权不得商用。

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