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一种多层平面膜进样装置制造方法及图纸
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下载一种多层平面膜进样装置的技术资料
文档序号:20179045
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本实用新型公开了一种多层平面膜进样装置,包括膜支撑架模块,膜支撑架模块由多层膜支撑架依次叠压而成;外腔体内部中空,膜支撑架模块装于中空部位,中空部位的内壁面上开有导气槽;外腔体一侧装有进气盖板,上部装有抽气盖板,另一侧装有外腔盖板,外腔盖板...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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