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本实用新型提供一种六氟化硫和氮气混合气体净化分离提纯装置，液氮储液罐出液口依次经第二冷却介质通道、第一冷却介质通道、干式管壳换热器接氮气出气口，液氮作为冷却介质，由液氮储液罐流出后，依次经过固化罐、液化罐和干式管壳换热器，最后以气态排出，压...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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