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传感器装置和用于测试传感器装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:20174721
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一种传感器装置,包括:压力转换器,与具有流体的体积区域处于流体连通,其中,所述压力转换器被构造成响应于所述体积区域中的压力变化而输出压力信号,所述压力信号具有取决于所述压力变化的信号变化曲线;加热元件,所述加热元件被构造成引起位于所述体积区...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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