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本发明公开了一种基片台，包括载片盘以及用来测量基片温度的温度传感器，基片台还包括流体输入管、流体输出管以及温控装置，所述载片盘上设置有导热腔，所述流体输入管一端与所述温控装置的输出口连接，另一端与所述导热腔连通，所述流体输出管一端与所述导热...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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